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要旨 口頭発表J会場（PDF/約4MByte）

2009 年度

OH - 岡山大学学術成果リポジトリ

BULLETIN

第3世代透明導電性アモルファス薄膜の創製

DCマグネトロンスパッタ法で作製したAl

ZnO系透明導電膜の高性能化

スパッタリングターゲット ⁄ 蒸発材料 スパッタリングターゲット

はじめに 機能性透明酸化物とオプトエレクトロニクス

ナノ秒サーモリフレクタンス法を用いた透明導電膜の熱拡散率の測定
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